[发明专利]光学元件操纵仪有效
| 申请号： | 200480033316.5 | 申请日： | 2004-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN1879046A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | M·米尔拜尔;J·科佩尔特 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘春元;魏军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及到光学元件(7)操纵仪，其通过至少三个调节装置(9)在相对于结构(8)多达六个自由度上来操纵光学元件(7)。调节装置(9)每个都有至少两个由力控制的调节器，每个调节器沿一个自由度产生作用力，而调节装置(9)的链接点(11)则直接作用在光学元件(7)上。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 操纵 | ||
【主权项】：
1.光学元件操纵仪，其通过至少三个调节装置在对结构多达六个自由度上可操纵光学元件，其中调节装置(9)每个有至少两个力控制调节器(10)，每个力控制调节器在一个自由度上产生作用力，调节装置(9)的链接点(11)则直接作用在光学元件(7)上。
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