[发明专利]图形的不匀缺陷检查方法和装置无效
| 申请号： | 200480033048.7 | 申请日： | 2004-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN1879005A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 田中淳一;山口升 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种图形的不匀缺陷检查方法和装置，其能高精度检查在被检查体表面所形成图形上产生的多种不匀缺陷。不匀缺陷检查装置(10)具有：光源(12)，其对表面具备有单位图形(53)有规律排列的重复图形(51)的光掩膜(50)进行光照射；感光部(13)，其接受来自所述光掩膜的散射光并把它转换成感光数据，本方法和装置观察该感光数据并检查所述重复图形上产生的不匀缺陷，其特征在于：具有从多个波段的光中选择抽取一个或多个希望波段光的波长滤波器(14)，并使用该选择抽取的波段的光来检查所述重复图形的不匀缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 图形 缺陷 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种图形的不匀缺陷检查方法，其对表面具备单位图形有规律排列的重复图形的被检查体进行光照射，接受来自该被检查体的反射光或透射光并观察该感光的感光数据来检查所述重复图形上产生的不匀缺陷，其特征在于：从多个波段的光中选择抽取一个或多个希望波段的光，并使用该选择抽取的波段的光来检查所述重复图形的不匀缺陷。
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