[发明专利]反应性气体过滤器无效
| 申请号： | 200480032017.X | 申请日： | 2004-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN1878604A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 卡尔利·谢尔哈默;戴维·J·鲁德;杰夫·霍尔珀林;约翰·戈德罗;威廉·M·古德温;德文·金基德;阿纳特利·格雷福;于尔根·米夏埃多·勒贝特 | 申请（专利权）人： | 安格斯公司 |
| 主分类号： | B01D46/30 | 分类号： | B01D46/30 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在优选的实施方案中，本发明提供一种半导体处理工具和对分子污染敏感的方法中所用的反应性气体用的气体过滤器。本发明的反应性气体过滤器具有改进的压降，对于含有浓度分别不大于约10 ppbv和5 ppbv的氨水和二氧化硫的输入气流而言，可提供氨水和二氧化硫浓度都小于约1 ppbv的输出气流。在一个方面中，本发明提供一种反应性气体过滤器，其可提供改进的压降，对于含有浓度分别不大于约10 ppbv和5 ppbv的氨水和二氧化硫的输入气流而言，使用过滤介质体积不大于约0.5升也可提供其氨水和二氧化硫浓度小于约1 ppbv的输出气流。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 性气 过滤器 | ||
【主权项】：
1.一种半导体处理系统中所用的反应性气体用的气体过滤器，包括：容器，其包括：管部分，其包括进口端、出口端及内室；进口端口，其具有进口粒子过滤器；出口端口；基本上填充所述内室的过滤介质；和取样端口，便于测量所述反应性气体中的污染物。
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