[发明专利]具有未释放的薄膜组件的MEMS装置无效
| 申请号： | 200480031827.3 | 申请日： | 2004-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN1874957A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 马克·W·迈尔斯 | 申请（专利权）人： | IDC公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在一实施例中，本发明提供一种MEMS装置。所述MEMS装置包含：复数个功能性组件，所述功能性组件包括至少一个可移动组件；和一牺牲组件，以至少减少运送所述微机电系统装置期间所述可移动组件的移动，其中可在运送后去除所述牺牲组件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 释放 薄膜 组件 mems 装置 | ||
【主权项】：
1.一种制造一微机电系统装置的方法，其包含：制造所述微机电系统装置的一牺牲层和一机械膜；用所述牺牲层抑制所述机械膜的至少一些移动；和运输所述微机电系统装置的至少所述牺牲层和所述机械膜。
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