[发明专利]载物台装置有效
| 申请号： | 200480031070.8 | 申请日： | 2004-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN1871562A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 加藤达朗;内海和晴;村山洋;真下秀彦 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | G05B19/404 | 分类号： | G05B19/404 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种载物台装置，具备：导引部件(2、3)，用来在基盘(1)上对2个移动体(4、5)分别进行导引；横梁(6)，与导引部件(2、3)正交地横架在2个移动体(4、5)之间，与2个移动体(4、5)一起移动；分别使2个移动体(4、5)移动，使横梁(6)相对与一轴方向垂直的偏转旋转轴旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 载物台 装置 | ||
【主权项】：
1、一种载物台装置，具有：基盘；2个驱动源，用来使2个移动体分别在上述基盘上沿一轴方向移动；导引部件，用来对上述2个移动体中的至少一个沿上述一轴方向进行导引；横梁，与上述导引部件正交地横架在上述2个移动体之间，与上述2个移动体一起移动；其特征在于，具备：2个位置传感器，用来检测上述2个移动体的各自的位置；2个原点传感器，用来规定上述2个移动体的各自的原点位置；控制装置，用来接收来自上述2个位置传感器、上述2个原点传感器的检测信号，控制上述2个驱动源来进行上述2个移动体的位置控制；上述控制装置具有分别控制上述2个驱动源、使上述横梁相对与上述一轴方向垂直的偏转旋转轴旋转的偏转轴旋转控制功能，上述控制装置在该载物台装置启动时，基于上述偏转轴旋转控制功能，执行下述控制：即使在上述横梁相对于上述导引部件的正交度变化的情况下也将上述横梁相对于上述导引部件维持在规定范围内的正交度。
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