[发明专利]使物体特征成像的系统和方法有效
| 申请号： | 200480028685.5 | 申请日： | 2004-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN1864061A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 玛蒂亚斯·约翰内森;玛特斯·格卡斯托普 | 申请（专利权）人： | 西克IVP股份公司 |
| 主分类号： | G01N21/896 | 分类号： | G01N21/896;G01B11/30 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 使至少有第一(2a)和第二(2b)层的物体(2)特征成像的系统和方法。物体(2)用入射光(4)照明，然后用成像传感器(6)检测从物体(2)反射的光(5b)，在该传感器中，检测的光被转换为电荷，根据该电荷建立物体(2)的表像。从该表像获得关于物体(2)第一层(2a)和第二层(2b)中散射光的信息，并把该信息与存储的信息比较，以便检测物体(2)上的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 特征 成像 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量系统(1)，用于使至少有第一(2a)和第二(2b)层的物体(2)的特征成像，本系统(1)包括至少一个用入射光(4)照射物体(2)的光源(3)、检测从物体(2)反射的光并把检测的光转换为电荷的成像传感器(6)、和根据该电荷建立物体(2)的表像的装置，特征在于，本系统(1)包括从该表像获得关于物体(2)第一层(2a)和第二层(2b)中散射光的信息的装置，和把该信息与存储的信息比较，以便检测物体(2)上缺陷的装置。
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