[发明专利]在镀覆金属至衬底表面上时自动控制多阳极配置的电流分布的方法及系统无效
| 申请号： | 200480028523.1 | 申请日： | 2004-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN1860259A | 公开（公告）日： | 2006-11-08 |
| 发明（设计）人： | M·邦克斯;D·沃尔斯泰因;A·普罗伊塞 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D17/10;C25D21/12;C25D5/16 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种结合控制器(250)而操作的电镀工具(200)，该控制器自动决定用于该镀覆工具的多阳极配置(102A、…102N)的个别的电流。该阳极电流的计算可以依据敏感度数据及测量数据以及依据所需的目标轮廓，以便即使对于具有多个工艺室的镀覆工具也能够实现对于工艺变化的快速反应。 | ||
| 搜索关键词： | 镀覆 金属 衬底 表面上 自动控制 阳极 配置 电流 分布 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：量化地决定敏感度数据使用于电镀工具的多阳极配置的电流组与通过电镀形成在衬底上的金属层的厚度相关；以及在该电镀工具中依据用于待加工的第二衬底的该敏感度数据决定用于该多阳极配置的更新的电流组。
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