[发明专利]利用连续流沉积来沉积金属层的方法

摘要

本发明提供了一种利用连续流沉积工艺来沉积具有良好表面形貌的金属层的方法，该方法包括使处理室中的衬底交替暴露于金属－羰基前驱气和还原气中。在暴露于金属－羰基前驱气过程中，通过热分解在衬底上沉积薄金属层，随后使该金属层暴露于还原气中以利于从该金属层中除去反应副产物。可以重复金属－羰基前驱气和还原气暴露步骤直到形成期望厚度的金属层。金属羰基前驱体例如可以选自W(CO)₆、Ni(CO)₄、Mo(CO)₆、Co₂(CO)₈、Rh₄(CO)₁₂、Re₂(CO)₁₀、Cr(CO)₆和Ru₃(CO)₁₂。

主权项

1.一种在衬底上沉积金属层的方法，所述方法包括：a)将衬底提供到处理室中；b)使所述衬底暴露于金属-羰基前驱气中；c)由所述金属-羰基前驱气的热分解在所述衬底上形成金属层；d)使所述金属层暴露于还原气中；和e)重复所述衬底的所述暴露步骤，所述金属层的所述形成步骤和所述暴露步骤直至形成期望厚度的金属层。