[发明专利]清洗掩模有效
| 申请号： | 200480027634.0 | 申请日： | 2004-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN1882397A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 萨曼莎·坦;王建齐 | 申请（专利权）人： | 晶粒精密清理仪器有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/00;B08B6/00;C03C23/00;C23G1/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种清洗掩模的设备和方法。该方法包括将掩模置于一清洗溶液内。该方法也包括以一预定搅动水准将清洗溶液搅动一预定时间段。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种清洗有多种金属沉积于其上的钼掩模的方法，包括：将所述钼掩模置于包括氢氯酸的清洗溶液内；以及在一预定时间段后将所述钼掩模从清洗溶液移出。
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