[发明专利]用于改良的挡板的方法和装置无效
| 申请号： | 200480026969.0 | 申请日： | 2004-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN1853254A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·T·芬克;埃里克·J·施特朗;亚瑟·H·小拉弗拉弥;杰伊·华莱士;桑德拉·海岚德 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种挡板组件，设置为耦合到等离子为体处理系统中的衬底支架，该组件包括挡板(64)，挡板具有一个或更多个开口，以允许通过其的气体通道，其中挡板耦合到衬底支架便于等离子体处理系统中挡板的自动定心。安装在衬底支架中的定心环(100)可包括设置为与挡板上的配合特征相耦合(68)的定心特征。在等离子体处理系统初始装配之后，挡板可以被替换并在等离子体处理系统中定心而无需对衬底支架进行拆卸和重新组装。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 改良 挡板 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种围绕着等离子体处理系统中的衬底支架的挡板组件，包括：定心环，所述定心环设置为耦合到所述衬底支架上；以及挡板，所述挡板包括一个或更多个通道，其中所述挡板设置为通过将所述挡板耦合到所述定心环而在所述等离子体处理系统中定心。
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