[发明专利]接触式压力传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200480023823.0 | 申请日： | 2004-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN1839298A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | 拉曼·阿基佩迪;克里斯托弗·菲利浦·斯佩里;杜寿禄;郑楚维;慕斯达菲瑟·拉曼;蔡树仁 | 申请（专利权）人： | 新加坡国立大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 颜涛;郑霞 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本发明公开了一种接触式压力传感器(10)和一种制造接触式压力传感器的方法，该压力传感器用来检测两表面之间的接触压力。本发明公开的接触式压力传感器包括用来支撑该传感器的基体(40)和接触式压敏层(26)，该压敏层对施加在接触式压力传感器上的压力非常敏感。本发明公开的方法还包括将在第一处理支撑基体(20)上制造的加工后结构(8)从该第一处理支撑基体转接到接触式压力传感器的第二支撑基体(40)上。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种接触式压力传感器，其包括：用来支撑该传感器的基体；接触式压敏层，其包括具有压敏电阻特性的材料，该材料对施加在接触式压力传感器上的压力敏感，该接触式压敏层具有与基体不同的晶格结构；设置在基体和接触式压敏层之间的绝缘层，其用来支撑传感器上的接触式压敏层；和设置在接触式压敏层上的导电层，该导电层用于导通所述传感器。
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