[发明专利]检测样品因环境影响导致的物理可测性质改变的方法无效
| 申请号： | 200480023774.0 | 申请日： | 2004-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN1839305A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | R·森斯;E·蒂尔;R·博恩曼 | 申请（专利权）人： | 巴斯福股份公司 |
| 主分类号： | G01N17/00 | 分类号： | G01N17/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 刘金辉;林柏楠 |
| 地址： | 德国路*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种检测样品因环境影响导致的物理可测性质改变的方法。根据所述方法：(i)使样品在曝光期间经受环境影响，其中该环境影响以已知依赖于位置的、以模型函数M(x，y)为基础的强度分布I(x，y)(强度模型)作用于样品，(ii)根据样品位置坐标(x，y)和分析辐射波长检测分析辐射因样品导致的透射、反射或散射，由此确定响应函数A(x，y)，该函数根据样品位置坐标(x，y)和波长再现透射、反射或散射的分析辐射的强度，以及(iii)环境影响的已知依赖于位置的强度分布I(x，y)或其基于的模型函数M(x，y)与响应函数A(x，y，λ)之间的相关性通过相关分析确定，该相关性是样品因环境影响导致的物理可测性质改变的量度。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 样品 环境 影响 导致 物理 性质 改变 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测样品因环境影响导致的物理可测性质改变的方法，其中(i)使样品经受环境影响达作用时间Δt，该环境影响以已知依赖于位置的、以模型函数M(x，y)为基础的强度分布I(x，y)(强度模型)作用于样品，(ii)随后检测分析辐射因样品导致的透射、反射或散射，其为样品位置坐标(x，y)和分析辐射波长λ的函数，以便确定响应函数A(x，y，λ)，该函数描述透射、反射或散射的分析辐射的强度，为样品位置坐标(x，y)和波长λ的函数，(iii)环境影响的已知依赖于位置的强度分布I(x，y)或作为其基础的模型函数M(x，y)与响应函数A(x，y，λ)之间的相关性通过相关分析确定，该相关性是样品因环境影响导致的物理可测性质改变的量度。
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