[发明专利]微机电系统型振荡器及其制造方法,以及滤波器和通信设备无效
| 申请号： | 200480023407.0 | 申请日： | 2004-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN1836371A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | 多田正裕 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种能够利用第一振荡模同时提高输出信号的S/N比的MEMS型振荡器，其制造方法、滤波器和应用该滤波器的高度可靠的通信设备。该MEMS型振荡器包括输出电极、与所述输出电极相对设置的输入侧振荡梁以及输入电极，其中所述输出电极和所述输入电极(27)在DC方面与所述梁分开地形成。所述滤波器应用了该MEMS型振荡器。所述通信设备应用了本发明的滤波器，以限制发送信号和/或接收信号的频带。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 振荡器 及其 制造 方法 以及 滤波器 通信 设备 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS振荡器，包括：输出电极、设置在输入侧从而面对所述输出电极的能够振荡的梁，以及输入电极，其中所述输出电极和输入电极在DC方面与所述梁分开。
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