[发明专利]集成连接装置及制造方法有效
| 申请号： | 200480023338.3 | 申请日： | 2004-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN1836327A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | S·德勒克斯尔;T·格贝尔;J·赫尔内德;M·霍梅尔;W·克莱因;H·克尔纳;A·米切尔;M·施维尔德;M·泽克 | 申请（专利权）人： | 因芬尼昂技术股份公司 |
| 主分类号： | H01L23/485 | 分类号： | H01L23/485;H01L23/532 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李亚非;梁永 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种连接装置，它包括外导电结构(44)，其至少部分地或完全地被放置在不导电的绝缘层(34、36)的切口(recess)(37)中。在切口(37)的底部，在绝缘层(34、36)的一侧上放置内导电结构(22)，并且在接触区域中，它邻接外导电结构(44)。在切口(37)的另一侧上的外导电结构(44)上设置接触表面。接触区域和接触表面彼此不重叠或仅部分重叠。当以法线方向观察时，切口(37)的底部以这种方式布置，即它至少重叠接触表面的一半或其全部，这样使绝缘层(34、36)中的阶梯位于主电流通路外面的切口(37)的边缘上，该主电流通路在接触表面和内导电结构(22)之间延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 连接 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种集成连接装置(10)，具有导电的外导电结构(44)，其至少部分地或完全地被布置在电绝缘的绝缘层(34、36)的切口(37)中，具有导电的内导电结构(22)，其被布置在切口(37)一侧上的切口(37)的底部处，并在接触带中的切口(37)的底部处邻接外导电结构(44)，具有接触区域(B1)，其被布置在切口(37)另一侧上的外导电结构(44)处，当以邻接接触带的内导电结构(22)的该区域的法线方向观察时，该接触带与该接触区域不重叠，以及当以该法线方向观察时，切口(37)的底部以这种方式布置，即它至少重叠该接触区域的一半或重叠整个接触区域。
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