[发明专利]稀土类金属络合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法无效
| 申请号： | 200480022864.8 | 申请日： | 2004-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1832952A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | 芳仲笃也;佐藤宏树;藤本龙作 | 申请（专利权）人： | 旭电化工业株式会社 |
| 主分类号： | C07F17/00 | 分类号： | C07F17/00;C23C16/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的稀土类金属络合物是以下述通式(I)表示的稀土类金属的三仲丁基环戊二烯基络合物，其在耐热性和挥发性方面优异，是适用于薄膜形成用原料的液态稀土类金属络合物，式中，M表示稀土类金属原子。 | ||
| 搜索关键词： | 稀土 金属 络合物 薄膜 形成 原料 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种以下述通式(I)表示的稀土类金属的三仲丁基环戊二烯基络合物，![]()
式中，M表示稀土类金属原子。
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