[发明专利]用于产生远紫外线和软X射线的装置无效
| 申请号： | 200480022673.1 | 申请日： | 2004-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN1833472A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | K·贝尔格曼;W·内夫 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军;赵辛 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气体放电源，尤其是用于产生远紫外线和/或软X射线，其中气体填充中间电极间隙(3)位于两个电极(1、2)之间，其中具有用于气体进入和排空的装置，以及其中一个电极(1)具有限定对称轴线(4)且被用于射线释放的开口(5)。提出的改进在于隔膜(6)，该隔膜(6)在对称轴(4)上具有至少一个开口(7)且在两个电极(1、2)之间作为差动泵级工作。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 紫外线 射线 装置 | ||
【主权项】：
1、一种气体放电源，具体用于产生远紫外线和/或软X射线，其中气体填充中间电极间隙(3)位于两个电极(1、2)之间，其中具有用于气体进入和排空的装置，以及其中一个电极(1)具有限定对称轴线(4)且被用于射线释放的开口(5)，其特征在于，设一隔膜(6)于所述两个电极(1、2)之间，所述隔膜(6)在对称轴线(4)上具有至少一个开口(7)且作为差动泵级工作。
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