[发明专利]多组分膜的生产稳定装置和方法以及涂有该多组分膜的工具

摘要

一种生产稳定装置和方法，其通过使用单一的坩埚(3)和聚焦的等离子体(7)，以高的材料利用效率和在良好的膜质量下生产含有熔点很大不同的金属组分，例如TiAlN的多组分膜。为此，首先供应使材料(4)蒸发所要求的电功率，然后反复供应台阶式增加的电功率从第一电功率一直至达到所要求的最大电功率。或者，进行等离子体控制，使等离子体(7)聚焦在蒸发该材料所要求的起始区域内，然后进行等离子体控制，连续并台阶式移动和膨胀等离子体从起始的等离子体区域到最大等离子体区域，使材料的未熔融部分(4b)逐渐熔融。该材料是烧结坯块或者未加工坯块(4)。

主权项

1.通过采用电场或者磁场聚焦的等离子体(7)在单一的坩埚或炉膛(3)内熔融并蒸发含至少两类金属、合金或金属间化合物的气化原材料(4)来形成多组分膜的生产稳定装置，该装置具有电功率供应装置(6)熔融并蒸发该原材料，和等离子体控制装置(9)控制电场或磁场，其特征在于：熔融并蒸发一部分的原材料(4)，然后按序熔融并蒸发原材料中未熔融部分(4b)的设备。