[发明专利]精加工石英玻璃表面的方法和所述方法生产的部件有效
| 申请号： | 200480017391.2 | 申请日： | 2004-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN1809513A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | M·W·柯赫尔鲍驰;J·E·道格赫缇 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03C19/00;C03C23/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蔡胜有 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了表面精加工等离子体加工设备部件的方法。所述的部件包括至少一个暴露到等离子体中的表面。所述的方法包括机械抛光、化学刻蚀和清洗暴露到等离子体中的表面，以便获得所希望的表面形态。部件的石英玻璃密封表面也可用所述的方法精加工。可将相同部件暴露到等离子体中的表面和密封表面精加工到彼此不同的表面形态。 | ||
| 搜索关键词： | 精加工 石英玻璃 表面 方法 生产 部件 | ||
【主权项】：
1.一种表面精加工等离子体加工设备部件的方法，所述的方法包括：机械抛光等离子体加工设备部件的至少一个石英玻璃表面；用含氟的刻蚀液化学刻蚀经机械抛光的石英玻璃表面；以及用清洗液清洗经刻蚀的石英玻璃表面，以便从表面除去金属污染物。
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