[发明专利]用于电子束照射的方法和装置有效

专利信息
申请号: 200480017108.6 申请日: 2004-06-08
公开(公告)号: CN1809495A 公开(公告)日: 2006-07-26
发明(设计)人: L·奈斯伦德;T·尼尔松;L·波皮;A·埃里克松;P·贝内德蒂;F·费拉里尼 申请(专利权)人: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
主分类号: B65B55/08 分类号: B65B55/08;G21K5/10
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 赵辛
地址: 瑞士*** 国省代码: 瑞士;CH
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摘要: 发明公开一种用于对薄板(W)进行电子束照射的设备以及使该设备通风的方法,该方法包括如下步骤:提供包括薄板入口开口(115)和薄板出口开口(121)的第一腔(107),提供延伸到第一腔(107)内部的第二腔(111),第二腔(111)包括薄板入口开口(114)、薄板出口开口(112)以及电子出口表面(21),电子适于通过该出口表面而发射到第二腔(111)中,使薄板(W)经过第二腔(111),通过向第一腔(107)的薄板出口开口(121)供应所述流体,并提供至少一个出口(113),这样来形成在与薄板(W)行进方向相反的方向上通过第一腔和第二腔(107,111)的气态流体流。
搜索关键词: 用于 电子束 照射 方法 装置
【主权项】:
1.一种用于对薄板(W)的至少一侧进行电子束照射的设备的通风方法,所述方法包括如下步骤:提供包括薄板入口开口(115)和薄板出口开口(121)的第一腔(107),提供延伸到所述第一腔(107)内的第二腔(111),所述第二腔(111)包括薄板入口开口(114)、薄板出口开口(112)以及电子出口表面(21),电子适于通过所述出口表面(21)而发射到所述第二腔(111)中,使所述薄板(W)经过所述第二腔(111),和通过向所述第一腔(107)的所述薄板出口开口(121)供应所述流体,并提供至少一个出口(113),来形成在与所述薄板(W)行进方向相反的方向上通过所述第一腔和第二腔(107,111)的气态流体流。
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