[发明专利]用于真空系统的伺服阀

摘要

本发明提供一种伺服阀，其可在真空系统中操作，并可在打开状态和闭合状态之间切换，即使在采用较低的力的情况下。为此，所述阀具有闭合件(4)，所述闭合件(4)可分别在控制室(13)的控制压力和入口(2)、出口(3)的压力之间的压差作用下，在打开位置和闭合位置之间移动。控制室与入口恒定地流体连通，并与出口可调节地流体连通，以根据可调节的流体连通，主要通过入口压力和出口压力来影响控制压力。本发明还提供一种带有这种伺服阀的真空系统。

主权项

1、一种用于真空系统的伺服阀，其包括壳体(1)，所述壳体(1)限定了控制室(13)和阀门通道(2，3)，所述阀门通道(2，3)具有第一压力的流体入口部(2)和第二压力的流体出口部(3)，所述这两部分可由闭合件(4)分离开，其中所述闭合件(4)安装在壳体内，以在控制室的控制压力与第一、第二压力之间的压差作用下移动在闭合位置和打开位置之间，所述打开位置是阀门通道在入口部和出口部之间被打开的位置，所述闭合位置是阀门通道在入口部和出口部之间被关闭的位置，控制室经由持续打开的通道与入口部流体连通，并经由导引通道(14)与出口部可控地流体连通，所述导引通道(14)可由导引闭合件(16)闭合，所述导引闭合件(16)可相对于闭合件(4)移动在打开位置和闭合位置之间，其中所述导引通道(14)在该打开位置处被打开，在该闭合位置处被关闭，从而根据导引闭合件的位置，主要通过第一压力和第二压力中的一个来影响控制压力，并由此来控制闭合件(4)在其闭合位置和打开位置之间的移动。