[发明专利]穿通二极管及其制造方法无效
| 申请号: | 200480014384.7 | 申请日: | 2004-05-25 |
| 公开(公告)号: | CN1795564A | 公开(公告)日: | 2006-06-28 |
| 发明(设计)人: | H·-M·里特;M·吕布;J·怀南茨 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872;H01L27/07 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 王岳;梁永 |
| 地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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| 摘要: | 一种具有肖特基类似特性的单片集成穿通二极管。这通过将肖特基金属区域(116)淀积在第一p掺杂阱(9)的至少部分表面上来实现。该肖特基金属区域(16)和p掺杂阱(9)形成肖特基二极管的金属半导体过渡。将本发明的PT二极管的过电压保护改进为具有小于0.5V的电压降的正向特性。 | ||
| 搜索关键词: | 二极管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种实现为基于硅片或芯片的单片集成电路的穿通二极管,其包括覆盖有n掺杂外延层(8)的n+掺杂衬底(7);注入到n掺杂外延层(8)中的第一p阱(9)和第二p阱(10),在这两个阱之间具有一定间距;穿过n掺杂外延层(8)并且进入到n+衬底(7)中的n阱(11);与第一和第二p掺杂阱(9,10)都连接的第一p+掺杂阱(13);在第一和第二n掺杂阱(9,10)之间的n外延层(8)上并且与氧化层(17)的边缘相交叠的多晶硅区域(14);其特征在于:将肖特基金属区域(16)淀积在至少部分第一p掺杂阱(9)的表面上,由此形成金属(16)半导体(9)过渡,并且将第二p+掺杂阱(12)注入到第一p掺杂阱(9)中。
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