[发明专利]压电谐振部件的频率调整方法及压电谐振部件

摘要

一种压电谐振部件的频率调整方法。当从上方照射能量射线，蚀刻电极，而进行频率调整的情况下，很难产生绝缘阻抗的下降、短路不良及电极间的迁移等现象。它具备含有侧面(14a、14b)及上面的压电体(14)，及设计在压电体上面的电极(15)。与上端相比、以下方部分位于压电体(14)的中心侧的方式，将侧面(14a、14b)作为倾斜面的压电谐振部件。在此压电谐振部件的上面，配置含有开口部(22a)的屏蔽层(22)，通过从上方照射离子束，调整频率的一种频率调整方法。

主权项

1、一种压电谐振部件的频率调整方法，该压电谐振部件，含有压电体和形成于上述压电体上面的至少1个振动电极的压电谐振部件，该压电谐振部件的频率调整方法其特征在于，具备：准备含有上面、下面、多个侧面的压电体，和形成于上述压电体的上面的至少1个电极，该电极以至少达到一对侧面和上面的端缘那样而形成的压电谐振部件的工序；和该侧面的上端相比，以下方部分位于压电体的中心侧的方式，将上述压电谐振部件的上述一对侧面作为倾斜面的加工工序；上述加工工序后，从上述压电谐振部件的上方照射能量射线，以使电极的厚度变薄那样进行加工，而调整频率的频率调整工序。