[发明专利]具有斜电极和制动机构的微镜

摘要

公开了一种空间光调制器，以及用于制作这种调制器的方法，该调制器包括微镜器件阵列，每个微镜器件至少优选地具有至少一个第一电极和第二电极。第一电极用于将微镜器件的微镜板驱动到ON状态，以及第二电极用于将微镜板驱动到OFF状态。两个电极可以设置在微镜板的同一侧但是在微镜板的旋转轴的相对侧，用以驱动微镜板在相反的方向上旋转。可替换地，两个电极可以设置在微镜板的相对侧但是在微镜板的旋转轴的同一侧，用以驱动微镜板在相反的方向上旋转。可以通过制动器来定义微镜板的ON状态和OFF状态。制动器可以形成在衬底上、保持微镜器件的微镜板的铰链结构上、和/或微镜器件内的期望位置。可替换地，用于ON状态和OFF状态的电极可以用作制动器，或者单个或者组合，或者与其它部件相结合，例如微镜器件的衬底。优选地，OFF状态角度和ON状态角度是不同的。

主权项

1、一种空间光调制器，包括：像素阵列，包括在可透光衬底上的多个微镜，每个微镜包括设置在该可透光衬底上的微镜板；第一制动机构，用于将所述微镜制动在处于接通位置的第一预定角度处；第二制动机构，用于将所述微镜制动在处于关闭位置的第二预定角度处；以及至少一个电极，用于在所述接通位置和所述关闭位置之间移动所述微镜。