[发明专利]辐射敏感元件的显影增强无效
申请号: | 200480012620.1 | 申请日: | 2004-03-12 |
公开(公告)号: | CN1787917A | 公开(公告)日: | 2006-06-14 |
发明(设计)人: | 利维亚·T·梅梅蒂;朱厄纳·G·贾拉米洛;尼古拉斯·布拉德福德;乔纳森·W·古丁;杨诚;莫舍·莱瓦农 | 申请(专利权)人: | 柯达图像通信加拿大公司 |
主分类号: | B41C1/10 | 分类号: | B41C1/10;G03F7/004 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 封新琴;巫肖南 |
地址: | 加拿大不列*** | 国省代码: | 加拿大;CA |
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摘要: | 利用辐射源的阳性作用型辐射敏感组合物包括一种或多种能够溶解在碱性水溶液中的聚乙烯醇缩醛聚合物和增强显影能力的化合物。基于本发明组合物的辐射敏感涂层的光敏性得到增加,而没有损害处理特征。基于本发明组合物的辐射敏感元件具有良好显影宽容度。阳性作用型光刻印刷前体基于涂覆在亲水表面上的辐射敏感组合物。可使用碱性水溶液显影该前体,并且在光刻印刷应用中可利用辐射源来使用,例如常规成像系统、计算机制版系统或其它直接成像应用中。在曝光之前,该前体处于稳定的状态,并且具有优异的处理性能。 | ||
搜索关键词: | 辐射 敏感 元件 显影 增强 | ||
【主权项】:
1.一种辐射敏感组合物,其包括:a.通过聚乙烯醇与醛缩合而获得的缩醛树脂,以及b.增强显影能力的化合物。
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