[发明专利]分离和组装半导体细长条无效
| 申请号: | 200480012557.1 | 申请日: | 2004-05-07 |
| 公开(公告)号: | CN1784780A | 公开(公告)日: | 2006-06-07 |
| 发明(设计)人: | 保罗·C.·王;瑞兹米克·艾博努斯;韦尔尼·A.·埃弗雷特;马克·J.·克尔 | 申请(专利权)人: | 源太阳能股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 杜日新 |
| 地址: | 澳大利亚*** | 国省代码: | 澳大利亚;AU |
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| 摘要: | 公开了用于从晶片(400)分离出细长半导体条(630)的一种方法和设备。真空(500)抽吸形成晶片(400)边缘或邻接边缘的每条半导体长条的面。使晶片(400)和真空(500)的源位移以便从晶片(400)分离出各条细长半导体条(630)。而且,公开了用于把从半导体材料的晶片(400)分离出的细长半导体条(630)组装成细长条(630)阵列的一种方法和设备。再进一步,还公开了用于在衬底上组装细长半导体条(630)阵列的一些方法、设备和系统。 | ||
| 搜索关键词: | 分离 组装 半导体 细长 | ||
【主权项】:
1.一种从半导体材料的晶片分离出细长半导体条的一种方法,上述方法包括步骤;构成在晶片内以基本上互相平行方式形成的多个细长半导体条,上述晶片具有基本上是平面的表面、在与基本上是平面的表面成直角处的厚度尺寸和在上述半导体细长条两端上使上述细长条与上述晶片连接的框架部分,上述半导体细长条各具有至少基本上等于晶片厚度的宽度和细长条的厚度尺寸小于上述宽度,其中至少一条细长半导体条在长度方向上的面形成上述晶片的边缘或者紧靠上述边缘;真空抽吸形成上述边缘或邻接上述边缘的上述细长半导体条;和使上述晶片和上述真空的源互相相对位移一段预定的距离,从上述晶片分离出带有抽吸上述细长半导体条的真空的上述细长半导体条。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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