[发明专利]同轴波导微结构及其形成方法有效
| 申请号： | 200480012012.0 | 申请日： | 2004-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN1784807A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | D·W·谢勒;J·J·费希尔 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | H01P3/06 | 分类号： | H01P3/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种同轴波导微结构。该微结构包括基片和位于该基片之上的同轴波导。该同轴波导包括：中心导体；包括一个或多个壁的外导体，该外导体与中心导体有一定间隔且设置于中心导体周围；用来支承中心导体的一个或多个绝缘支承部件，所述支承部件与中心导体接触，封装在外导体之内；以及中心导体与外导体之间的芯体积，所述芯体积处于真空或气态状态下。还提供了通过顺序构建顺序构建工艺形成同轴波导微结构的方法，以及包括同轴波导微结构的密封外壳。 | ||
| 搜索关键词： | 同轴 波导 微结构 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种同轴波导微结构，包括：基片；和设置在所述基片上的同轴波导，所述同轴波导包括：中心导体；包括一个或多个壁的外导体，该外导体与中心导体有一定间隔，且设置在中心导体周围；用来支承中心导体的一个或多个绝缘支承部件，所述支承部件与中心导体接触，封装在外导体之内；以及中心导体与外导体之间的芯体积，所述芯体积处于真空或气态状态下。
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