[发明专利]铁电体存储装置

摘要

本发明提供一种铁电体存储装置(101)，具有多个由存储单元晶体管和存储单元电容器构成的存储单元，其中，各存储单元电容器(101a)是由对各存储单元电容器每个都独立的下部电极(2)，在该下部电极(2)上形成的铁电体层(3)以及在该铁电体层(3)上形成的由多个共同连接而形成平板电极的上部电极(4)构成的，上部电极的宽度小于铁电体层的宽度。在本发明涉及的铁电体存储装置中，通过使上部电极的宽度小于铁电体层的宽度，可以防止上部电极和下部电极之间的漏电，结果，可以在不导致上部电极和下部电极之间发生漏电的情况下缩小存储单元电容器的配置间隔，可以实现更小的存储单元尺寸。

主权项

1.一种铁电体存储装置，具有多个由存储单元晶体管和存储单元电容器构成的存储单元，其特征在于：上述各存储单元电容器包括：经上述存储单元晶体管与位线连接的下部电极、在上述下部电极的上面形成的以上述下部电极的宽度方向作为其宽度方向的铁电体层、以及在上述铁电体层的上面形成的以上述下部电极的宽度方向作为其宽度方向的上部电极；上述各存储单元电容器的下部电极是对各存储单元电容器每个都独立的电极；上述各存储单元电容器的上部电极形成为多个存储单元电容器共用的平板电极；上述上部电极的宽度比上述铁电体层的宽度小。