[发明专利]激光工件的制造方法以及用于该方法的激光加工用粘合片

摘要

本发明涉及激光工件的制造方法，包括：作为激光加工用粘合片(2)，使用在其基材上至少设置粘合剂层且具有规定物理性质的构件，借助该粘合剂层在被加工物(1)的激光光射出面侧上贴合激光加工用粘合片(2)的工序；照射激光光(6)对被加工物进行加工的工序，其中所述的激光光的强度在引起被加工物(1)烧蚀的阈值的照射强度以上且为在被加工物(1)上形成贯通孔的照射强度的2倍以内；从加工后的所述被加工物(1)剥离所述激光加工用粘合片(2)的工序。由此，可以有效地抑制分解物引起的被加工物表面的污染，高生产效率且容易地制造激光工件。

主权项

1.一种激光工件的制造方法，其特征在于，是使用激光加工用粘合片，向被加工物照射波长为紫外区的激光光或经过多光子吸收过程的可以进行紫外区的光吸收的激光光，并通过烧蚀对该被加工物进行加工的激光工件的制造方法，包括：作为所述激光加工用粘合片，使用在基材上至少设置粘合剂层、用下述式(1)表示的吸光系数的比不到1的粘合片，借助该粘合剂层在所述被加工物的激光光射出面侧上贴合激光加工用粘合片的工序；吸光系数的比＝(激光加工用粘合片对波长为355nm的光的吸光系数)/(被加工物对波长为355nm的光的吸光系数) (1)照射激光光对该被加工物进行加工的工序，其中，所述的激光光的强度在引起所述被加工物烧蚀的阈值的照射强度以上且为在该被加工物上形成贯通孔的照射强度的2倍以内；从加工后的所述被加工物剥离所述激光加工用粘合片的工序。