[发明专利]激光加工装置无效
申请号: | 200480010771.3 | 申请日: | 2004-06-01 |
公开(公告)号: | CN1777489A | 公开(公告)日: | 2006-05-24 |
发明(设计)人: | 京藤友博;黑岩忠;小林信高 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | B23K26/067 | 分类号: | B23K26/067;G02B26/10;G02B27/28 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种激光加工装置,具有由将激光振荡器(1)射出的激光导向被加工物(20)的多个光学部件构成的光学系统,利用第一偏振光分离装置(5)将一束激光分光成两束激光,一束激光经由反射镜(14),另一束激光利用第一电控扫描反射镜(13)在两个轴方向上扫描,将两束激光导向第二偏振光分离装置(8)后,利用第二电控扫描反射镜(12)进行扫描,加工被加工物(20),其特征在于,将上述第一和第二偏振光分离装置配置成相对激光的光轴成45°。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】:
1.一种激光加工装置,具有由将激光振荡器射出的激光导向被加工物的多个光学部件构成的光学系统,利用第一偏振光分离装置将一束激光分光成两束激光,一束激光经由反射镜,另一束激光利用第一电控扫描反射镜在两个轴方向上扫描,将两束激光导向第二偏振光分离装置后,利用第二电控扫描反射镜进行扫描,加工被加工物,其特征在于,将上述第一和第二偏振光分离装置配置成相对激光的光轴成45°。
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