[发明专利]用于二维的基于微机电系统的扫描器的伺服系统及其方法有效
| 申请号： | 200480009658.3 | 申请日： | 2004-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN1871557A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | S－J·M·斯里;H·堂;A·夏尔马;E·S·埃莱夫特里乌;M·A·兰茨;C·波兹蒂斯 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G05B1/06 | 分类号： | G05B1/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 于静;李峥 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于基于微机电系统(MEMS)的运动控制系统的伺服控制系统(和方法)，包括运动发生器，该发生器具有固有的刚度成分。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 二维 基于 微机 系统 扫描器 伺服系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于基于微机电系统(MEMS)的运动控制系统的伺服控制系统，包括：具有固有刚度成分的运动发生器。
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