[发明专利]光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200480008624.2 | 申请日： | 2004-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN1768303A | 公开（公告）日： | 2006-05-03 |
| 发明（设计）人： | J·N·艾尔贝克 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;G03F7/022 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘明海 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种组合物和制备组合物的方法，该组合物包含：1)成膜酚醛清漆树脂，其中酚醛清漆树脂中羟基的氢原子由萘醌二叠氮基磺酰基(DNQ)以小于3.0mol％/氢原子的比例取代，以形成经部分酯化的酚醛清漆树脂；2)以足以使光致抗蚀剂组合物光敏化的数量存在的至少一种光敏组分；和3)至少一种溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种组合物，其包含：a)成膜酚醛清漆树脂，其中该酚醛清漆树脂中羟基的氢原子由萘醌二叠氮基磺酰基以基于酚醛清漆树脂的重量计为小于3.0mol％的比例取代，以形成经部分酯化的成膜酚醛清漆树脂；b)数量足以使该光致抗蚀剂组合物光敏化的至少一种光敏组分；和c)至少一种溶剂。
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