[发明专利]固浸透镜和显微镜无效
| 申请号： | 200480007556.8 | 申请日： | 2004-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN1761901A | 公开（公告）日： | 2006-04-19 |
| 发明（设计）人： | 寺田浩敏;荒田育男;坂本繁 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B21/02;G02B3/04;G01N21/17 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种固浸透镜(1)，具备有球状部(2)和底面部(3)。底面部(3)被安装成贴紧在成为观察对象物的半导体装置的基板(10)。该固浸透镜(1)的底面部(3)形成圆筒形状。由此，观察后可以很容易从观察对象物分离，并且观察时可以使高NA的光束通过，本发明用来获得此种固浸透镜和使用该固浸透镜的显微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 浸透 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种固浸透镜，被安装在观察对象物，用于对所述观察对象物的观察，其特征在于：对所述观察对象物的安装面形成环形形状。
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