[发明专利]用于同时进行二维和形貌检查的方法和装置无效
| 申请号： | 200480005453.8 | 申请日： | 2004-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN1788194A | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 格雷戈里·托克;安德雷·布伦费尔德;艾利亚·卢茨克 | 申请（专利权）人： | 奥博泰克有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 一种用于检测表面的信息的装置包括：采集表面的二维信息的第一组多个光学元件；采集所述表面的形貌信息的第二组多个光学元件；其中，所述第一组多个和所述第二组多个光学元件同时将所述的二维信息和所述的形貌信息提供给单个传感器阵列的至少部分不重叠的部分。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 同时 进行 维和 形貌 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测表面的信息的装置，其包括：采集表面的二维信息的第一组多个光学元件；采集所述表面的形貌信息的第二组多个光学元件；所述第一组多个光学元件和所述第二组多个光学元件同时将所述的二维信息和所述的形貌信息提供给单个传感器阵列的至少部分不重叠的部分。
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