[发明专利]光敏组合物及其用途无效
| 申请号： | 200480005372.8 | 申请日： | 2004-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN1754127A | 公开（公告）日： | 2006-03-29 |
| 发明（设计）人： | 庄弘;J·E·奥伯兰德;卢炳宏;S·F·万纳特;R·R·普拉斯 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘明海 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种组合物，包括含有至少两个侧挂的不饱和基团的可光聚合的化合物；至少一种烯属不饱和可光聚合的聚环氧烷亲水性单体；至少一种非离子表面活性剂；和至少一种光引发剂。该组合物还优选含有至少一种胺改性的丙烯酸低聚体和一种染料。其他常规的光致抗蚀剂组分如光敏剂、粘合促进剂、均化剂和溶剂也可包括在组合物中。该组合物可用于在基材上形成一种图案，如在基材上构图微光刻电路。 | ||
| 搜索关键词： | 光敏 组合 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.一种组合物，包括：a)含有至少两个侧挂的不饱和基团的可光聚合的化合物；b)至少一种烯属不饱和可光聚合的聚环氧烷亲水性单体；c)至少一种非离子表面活性剂；和d)至少一种光引发剂。
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