[发明专利]压电元件及其制造方法无效
| 申请号： | 200480002472.5 | 申请日： | 2004-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN101322258A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 秋山守人;上野直广;立山博;桑野范之 | 申请（专利权）人： | 独立行政法人产业技术综合研究所 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙洪;颜涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明在石英玻璃基板或不锈钢基板上形成下部电极。在下部电极上用溅射法通过制作薄膜状氮化铝和/或氧化锌，形成压电体薄膜，使其偶极子取向度在55％以上。然后，在压电体薄膜上形成上部电极。压电元件的压电层由氮化铝和/或氧化锌构成。具有晶体结构的氮化铝或氧化锌由于其晶体结构不存在对称性，故原来就具备压电性，并且像铁电体那样不存在居里温度，即使在高温下也不产生磁位错，故直至晶体熔解或升华，都不会失去压电性。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电元件，是在基板上依次层叠了第1电极层、压电层和第2电极层的压电元件，其特征在于：上述压电层由氮化铝和/或氧化锌构成，其偶极子取向度在55％以上。
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