[发明专利]锍盐化合物、辐射敏感性酸产生剂和正型辐射敏感性树脂组合物有效
| 申请号： | 200480002268.3 | 申请日： | 2004-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN1738813A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 宫松隆;庭田弘一;江幡敏;王勇 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | C07D333/46 | 分类号： | C07D333/46;C07D333/78;C08L33/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种在波长220nm以下的透明性优良，且作辐射敏感性酸产生剂时其感光度、分辨率、图案形状、LER、保存稳定性等性能优良的锍盐化合物以及以该化合物作为辐射敏感性酸产生剂的正型辐射敏感性树脂组合物。锍盐化合物用通式(1)表示。[R1表示卤素原子、烷基、1价的脂环烃基、烷氧基、－OR3基(R3为1价的脂环烃基。)等，R2表示(取代)烷基，或者2个以上的R2相互结合形成环状结构，p为0～7，q为0～6，n为0～3，X－表示磺酸阴离子。]正型辐射敏感性树脂组合物含有(A)由该锍盐化合物构成的辐射敏感性酸产生剂和(B)含有酸解离性基的树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 盐化 辐射 敏感性 产生 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1、一种由下述通式(I)表示的锍盐化合物，![]()
通式(I)中，R1表示卤素原子、碳原子数为1～14的直链或支链烷基、具有脂环骨架的碳原子数为3～14的1价烃基、碳原子数为1～14的直链或支链烷氧基、-OR3基(R3表示具有脂环骨架的碳原子数为3～14的1价烃基)、碳原子数为1～14的直链或支链的烷基对氨基苯磺酰基、具有脂环骨架的碳原子数为3～14的有机对氨基苯磺酰基、碳原子数为1～14的直链或支链的链烷磺酰基、或者具有脂环骨架的碳原子数为3～14的有机磺酰基，存在多个R1时彼此可以相同或不同，R2表示取代或未取代的碳原子数为1～14的直链、支链或环状的烷基，或者2个以上的R2相互结合形成碳原子数为3～14的单环结构或碳原子数为6～14的多环结构，存在多个R2时彼此可以相同或不同，p为0～7的整数，q为0～6的整数，n为0～3的整数，X-表示磺酸阴离子。
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