[发明专利]等离子显示屏的制造方法无效
| 申请号： | 200480000559.9 | 申请日： | 2004-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN1698159A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 筱崎淳;高瀬道彦;古川弘之 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/46 | 分类号： | H01J9/46;H01J9/20;H01J11/02;H01L21/68;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨悟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种等离子显示屏的制造方法，其在向等离子显示屏的基板成膜中，通过恰当地控制成膜室的状态而能形成良好的膜。其是具有把前面基板(3)保持在基板保持器(30)上进行成膜的成膜工序的显示屏的制造方法，在成膜时基板保持器(30)被反复使用，成膜工序，把由反复使用而附着了膜的状态的基板保持器(30)与除去附着的膜的状态的基板保持器(30)混合在成膜室即蒸镀室(21)中并且进行该成膜工序，这样来减少蒸镀室(21)内的真空度等的状态变化。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 显示屏 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种等离子显示屏的制造方法，其具有把基板保持在基板保持器上来进行成膜的成膜工序，其特征在于，在成膜时，反复使用基板保持器，所述成膜工序通过反复使用，而把附着了膜的状态的基板保持器与除去附着的膜的状态的基板保持器在成膜室内混合并且进行该成膜工序。
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