[实用新型]一种离子源悬浮反射电极无效
| 申请号： | 200420120112.2 | 申请日： | 2004-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN2758967Y | 公开（公告）日： | 2006-02-15 |
| 发明（设计）人： | 戴习毛 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J27/04;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣专利商标代理事务所 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子源悬浮反射电极，该反射电极包括一反射极与阴极连接杆、一绝缘套、一支撑板、一内屏蔽筒、一绝缘柱、一反射极和一连接杆。所述的绝缘套为陶瓷材料。所述的内屏蔽筒为高纯钼材料；所述的绝缘柱为99陶瓷材料；所述的反射极为高纯钼材料，圆筒结构。该实用新型结构简单，能够保证绝缘瓷柱免受污染，有效地延长离子源的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 悬浮 反射 电极 | ||
【主权项】：
1、一种离子源悬浮反射电极，其特征在于：该装置包括：一反射极与阴极连接杆、一绝缘套、一支撑板、一内屏蔽筒、一绝缘柱、一反射极和一连接杆；所述的支撑板支撑整个装置；所述的反射极与阴极连接杆连接反射极与外部阴极；所述内屏蔽筒在绝缘柱外侧；所述的绝缘柱在反射极外侧；所述的连接杆连接外部阴极。
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