[实用新型]滑轨往复式对靶溅射加热传动装置

摘要

一种滑轨往复式对靶溅射加热传动装置，它包括有一个箱体，在箱体的一侧设有样品架进出口，在箱体内的底部和样品架进出口的外部设有样品架进出导轨，在导轨上设置可移动的样品架，在箱体前后面内设有加热陶瓷平行板基体，在箱体前后对应面上设有方形溅射口。所述的样品架为长方形结构，在长方形的样品架上均匀开有至少两个基片固定槽孔，在样品架的下端连接有导轮。所述的样品架外侧连接有推拉杆，其由步进马达带动。在加热陶瓷平行板基体上设有蛇形加热丝。本实用新型的优点是，结构简单、使用方便、可高效地满足直流溅射方法制备高性能、均匀性好的大面积高温超导薄膜，并满足批量化制备的要求。

主权项

1、一种滑轨往复式对靶溅射加热传动装置，其特征在于：它包括有一个箱体(1)，在箱体的一侧设有样品架进出口(4)，在箱体内的底部和样品架进出口的外部设有样品架进出导轨(5)，在导轨上设置可移动的样品架(14)，在箱体前后面内设有加热陶瓷基体(2)，在箱体前后对应面上设有方形溅射口(6)。