[实用新型]碲镉汞红外光电探测器微小光敏元芯片

摘要

本实用新型公开了一种碲镉汞红外光电探测器微小光敏元芯片，包括：衬底，通过环氧胶与衬底牢固结合的碲镉汞片，与环氧胶接触的碲镉汞片表面有一下钝化层，碲镉汞片的中间为光敏元，二侧为电极区，其特征在于：在碲镉汞片裸露的侧面覆盖有一侧面钝化层。由于有了侧面钝化层，探测器的电阻、响应率、探测率、噪声等指标明显优于无侧面钝化层的探测器。

主权项

1.一种碲镉汞红外光电探测器微小光敏元芯片，包括：衬底(1)，通过环氧胶与衬底牢固结合的碲镉汞片(3)，与环氧胶接触的碲镉汞片表面有一下钝化层(2)，碲镉汞片的中间为光敏元区，二侧为电极区，光敏元区上有一上钝化层(4)，在电极区上有一铟金电极层(5)，其特征在于：在碲镉汞片(3)裸露的侧面覆盖有一侧面钝化层(6)。