[实用新型]镀膜夹具控制装置无效
| 申请号： | 200420110959.2 | 申请日： | 2004-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN2748474Y | 公开（公告）日： | 2005-12-28 |
| 发明（设计）人： | 王建国;洪瑞金;邵建达;范正修 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种镀膜夹具控制装置，其组成是：一计算机由总线与I/O扩展槽连接后，该I/O扩展槽再连接到开关量功放输出板，该开关量功放输出板分两路输出，一路通过第二步进电机驱动器与第二步进电机相连，一直角形夹具座的一钢板固定在第二步进电机的转轴上，另一路通过第一步进电机驱动器与第一步进电机相连，该第一步进电机固定地安装在所述的夹具座另一钢板上，该第一步进电机的转轴上固定所述的夹具，所述的第一步进电机驱动器和第二步进电机驱动器的电源由驱动器负载电源提供，所述的开关量功放输出板的电源由板卡负载电源提供。本实用新型通过计算机对步进电机的精确控制，可实现夹具的运动的三维运动，可以满足斜入射角沉积技术的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 夹具 控制 装置 | ||
【主权项】：
1、一种镀膜夹具控制装置，其特征在于它由带有控制程序的计算机(9)、I/O扩展槽(8)、开关量功放输出板(7)、第一步进电机(21)，第二步进电机(22)、第一步进电机驱动器(3)、第二步进电机驱动器(5)、驱动器负载电源(4)、卡板负载电源(6)组成，该计算机(9)由总线与I/O扩展槽(8)连接后，该I/O扩展槽(8)再连接到开关量功放输出板(7)，该开关量功放输出板(7)分两路输出，以实现夹具(24)自身的二维旋转，其中一路通过第二步进电机驱动器(5)与第二步进电机(22)相连，一直角形夹具座(23)的一钢板固定在第二步进电机(22)的转轴上，另一路通过第一步进电机驱动器(3)与第一步进电机(21)相连，该第一步进电机(21)固定地安装在所述的直角形夹具座(23)另一钢板上，该第一步进电机(21)的转轴上固定所述的夹具(24)，所述的第一步进电机驱动器(3)和第二步进电机驱动器(5)的电源由驱动器负载电源(4)提供，所述的开关量功放输出板(7)的电源由板卡负载电源(6)提供。
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