[实用新型]模块化原子力显微镜

摘要

一种模块化原子力显微镜，由7个模块组成：第一模块为步近电机；第二模块是四维调整的样品架，固定在步近电机上；第三模块是z向扫描器；第四模块包括微悬臂针尖和聚焦透镜；第五模块是xy向的扫描器；第六模块包括具有调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探测器；第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本实用新型模块化原子力显微镜的调整和更换方便；利用各模块又很容易搭建不同结构的原子力显微镜；样品具有粗定位的功能。

主权项

1、一种模块化原子力显微镜，其特征在于它由7个模块组成：第一模块(1)为步近电机(101)；第二模块(2)是四维调整的样品架(201)，固定在步近电机(101)上；第三模块(3)是z向扫描器(301)；第四模块(4)包括微悬臂针尖(401)和聚焦透镜(402)；第五模块(5)是xy向的扫描器(501)；第六模块(6)包括具有调焦透镜的半导体激光器(601)、反射镜(602)、成像透镜(603)和四象限光电探测器(604)；第七模块(7)包括光学显微镜(701)、CCD摄像头(702)和监视器(703)；所述的第五模块(5)的xy向平板扫描器(501)中间有方形通孔；第三模块(3)的z向扫描器(301)固定在xy向扫描器(501)的方形通孔内壁上；第四模块(4)固定在第三模块(3)的z向扫描器(301)上，第四模块(4)的微悬臂针尖(401)位于聚焦透镜(402)的焦点处；第六模块(6)的激光器(601)发出的激光光束的前进方向有反射镜(602)，光在反射镜(602)上反射后通过聚焦透镜(402)的中心汇聚到微悬臂针尖(401)的针尖上，从针尖上反射的光通过成像透镜(603)的中心，在四象限光电探测器(604)上形成光斑；第七模块(7)的CCD摄像头(702)和光学显微镜(701)组合在一起，CCD摄像头(702)的输出信号供给监视器(703)；第七模块(7)固定在第六模块(6)的反射镜(602)的后面，微悬臂针尖401的针尖到光学显微镜701的镜面的距离等于光学显微镜701的工作距离，样品、微悬臂针尖401的针尖和光学显微镜701同轴，而且所述的反射镜(602)的尺寸应小于从微悬臂针尖401的针尖进入光学显微镜(701)的光束在反射镜(602)处的光斑。