[实用新型]冷却装置无效
申请号: | 200420044384.9 | 申请日: | 2004-03-30 |
公开(公告)号: | CN2694439Y | 公开(公告)日: | 2005-04-20 |
发明(设计)人: | 翁维襄 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | G12B15/02 | 分类号: | G12B15/02;G12B15/04;G12B15/06;G12B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种冷却装置,包括一蒸镀室及一位于蒸镀室外的散热体,该蒸镀室内设有一基板载体及至少一可将基板载体的热量传导至蒸镀室外散热体的热管组,该热管组包括均匀分布在基板载体周围的至少两根热管。该热管组可在基板载体与散热体之间移动,使热量通过热管传到散热体上再经散热体散发到空气中。 | ||
搜索关键词: | 冷却 装置 | ||
【主权项】:
1.一种冷却装置,包括一蒸镀室及一位于蒸镀室外的散热体,该蒸镀室内设有一基板载体,其特征在于:该蒸镀室内设有至少一可将基板载体的热量传导至蒸镀室外散热体的热管组,该热管组包括均匀分布在基板载体周围的至少两根热管。
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