[实用新型]多晶硅氢还原炉无效
| 申请号： | 200420033142.X | 申请日： | 2004-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN2685333Y | 公开（公告）日： | 2005-03-16 |
| 发明（设计）人： | 王姗 | 申请（专利权）人： | 成都蜀菱贸易发展有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610015四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种多晶硅氢还原炉，由炉体、底板和上部的封头构成，封头上有冷却水腔、冷却出水口和启动装置法兰，炉体上有冷却水腔和冷却水进口，底板上有电极、进气口和排气口，炉体与底板之间用法兰连接，其特征在于本实用新型在氢还原炉内壁上附着了一层光滑的银质材料，利用银的化学特性，使其参与多晶硅棒的生长，不仅可大大提高多晶硅的纯度，并且大大降低了氢还原炉的能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 | ||
【主权项】：
1、多晶硅氢还原炉，由炉体、底板和上封头组成，封头上有冷却水腔、冷却出水口和启动装置法兰，炉体上有冷却水腔和冷却水进口，底板上有电极、进气口和排气口，炉体与底板之间用法兰连接，其特征在于氢还原炉内壁上有一层厚度为2-3mm的光滑的银质材料。
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