[实用新型]柔性平板波压差式微流量传感器无效
| 申请号： | 200420012709.5 | 申请日： | 2004-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN2752730Y | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 贾宏光;吴一辉;胡友旺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01F1/34 | 分类号： | G01F1/34 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型属于微机电系统领域，涉及微流量测量的传感器。包括：入口1、上盖2、微腔体一3、主体4、导线一5、支架6、信号处理模块7、导线二8、微腔体二9、微管道10、出口11。用柔性平板波提高灵敏度；用薄膜内应力测量动态范围大，提高动态范围；用双力传感器，解决背压影响和温度补偿；用非加热法实现生物兼容性；利用应力响应快提高响应速度；无运动部件，降低加工难度，提高成品率；两力传感器相隔远，无干扰，提高测量准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 平板 波压差 式微 流量传感器 | ||
【主权项】：
1、柔性平板波压差式微流量传感器，包括：入口(1)、导线一(5)、支架(6)、信号处理模块(7)、导线二(8)和出口(11)，从导线一(5)和导线二(8)中引出到信号处理模块(7)中，信号处理模块(7)固定于支架(6)上，其特征在于还包括：上盖(2)、微腔体一(3)、主体(4)、微腔体二(9)和微管道(10)，入口(1)和出口(11)分别与上盖(2)上的通孔一(12)和通孔二(13)对准，使入口(1)和出口(11)分别固定于上盖(2)的一面上；上盖(2)与主体(4)的四周对齐，上盖(2)的另一面与主体(4)的A面固定分别形成微腔体一(3)、微腔体二(9)和连通微腔体一(3)、微腔体二(9)的微管道(10)；主体(4)的B面固定在支架(6)上，信号处理模块(7)和主体(4)之间有空隙。
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