[实用新型]一种液滴靶激光等离子体软X射线光源无效
| 申请号： | 200420012670.7 | 申请日： | 2004-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN2744123Y | 公开（公告）日： | 2005-11-30 |
| 发明（设计）人： | 齐立红;尼启良;陈波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00;H01S4/00 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘树清 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种液滴靶激光等离子体软X射线光源，属于短波段光源技术领域中涉及的一种软X射线光源。本实用新型要解决的技术问题是：提供一种液滴靶激光等离子体软X射线光源。解决的技术方案是：包括喷气阀，真空靶室、聚光透镜、激光束、真空泵、隔热管、制冷管、电阻加热丝。在安装阀体的真空靶室的壁上，左右固连有两个隔热管，左边的隔热管与与制冷管的进口端密封安装，制冷管紧密地缠绕在喷气阀的喷嘴的外壁周围，在缠绕的制冷管的外侧还紧密缠绕电阻加热丝。在喷嘴上缠绕制冷管对喷嘴制冷，从喷嘴喷出的是液体，分子密度增加，提高了激光到软X射线的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液滴靶 激光 等离子体 射线 光源 | ||
【主权项】：
1、一种液滴靶激光等离子体软X射线光源，包括喷气阀，真空靶室、聚光透镜、激光束、真空泵，其中喷气阀是由入口、阀体、绝缘杆、弹簧、喷嘴、密封杆、压电陶瓷振子、阳极组成的；其特征在于还包括左右两个隔热管(18)、制冷管(31)的进口(19)、制冷管(31)的出口(25)、电阻加热丝(30)、制冷管(31)；在安装阀体(26)的真空靶室(32)的壁上，左右固连有两个隔热管(18)，左边的隔热管(18)与制冷管(31)的进口(19)密封配合安装，右边的隔热管(18)与制冷管(31)的出口(25)密封配合安装，制冷管(31)紧密地缠绕在喷嘴(33)的外壁周围，在缠绕的制冷管(31)的外侧还紧密缠绕电阻加热丝(30)。
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