[发明专利]掺氟的硅酸盐玻璃及其用途无效
| 申请号： | 200410101917.7 | 申请日： | 2004-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1636904A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 约亨·阿尔克马佩尔;约尔格·舒马赫尔;乌尔里希·波伊赫特 | 申请（专利权）人： | 肖特公开股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C3/00 | 分类号： | C03C3/00;C03C3/06;C03C3/076 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;郭国清 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掺氟的至少三元硅酸盐玻璃，该硅酸盐玻璃尤其包含TiO2。它可以有利地用作具有低热膨胀的材料，其中在－50℃至100℃的温度范围内热膨胀系数的斜率为±2×10－9/K2。这种材料特别适合用于微石印术，尤其是用于EUV－石印术。 | ||
| 搜索关键词： | 硅酸盐 玻璃 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.一种包括SiO2和至少一种附加的玻璃形成体的硅酸盐玻璃，该硅酸盐玻璃被掺杂氟，且其热膨胀系数在-50℃至100℃的温度范围内最多变化±2×10-9/K2。
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