[发明专利]基于微棱镜阵列的PSD型哈特曼－夏克波前传感器

摘要

基于微棱镜阵列的PSD型哈特曼－夏克波前传感器，其特征在于：由微棱镜阵列、会聚透镜、位置敏感探测器PSD阵列以及数据采集和波前重构单元组成，微棱镜阵列和紧贴其后的会聚透镜组合分割系统光瞳，位置敏感探测器PSD阵列置于会聚透镜的焦面上，其输出接至数据采集和波前重构单元。本发明用微棱镜阵列和紧贴其后的会聚透镜组合分割系统光瞳，可以克服现有技术中微透镜阵列的各个单元焦距不一致的问题。利用PSD器件响应速度快、信息处理量小、数据可以并行输出的特点，极大的提高波前传感器的采样速度，并且省去了传统哈特曼求质心的软件计算过程，波前重构算法简单，大大减轻对后续处理的负担。而且系统结构简单、易于加工实现和批量生产。

主权项

1、基于微棱镜阵列的PSD型哈特曼-夏克波前传感器，其特征在于：由微棱镜阵列(1)、会聚透镜(2)、位置敏感探测器PSD阵列(3)以及数据采集和波前重构单元(4)组成，微棱镜阵列(1)和紧贴其后的会聚透镜(2)组合分割系统光瞳，位置敏感探测器PSD阵列(3)置于会聚透镜(2)的焦面上，其输出接至数据采集和波前重构单元(4)。