[发明专利]波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法有效
| 申请号： | 200410098255.2 | 申请日： | 2004-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN1624500A | 公开（公告）日： | 2005-06-08 |
| 发明（设计）人： | 中村亮介;纸透真一;村田昭浩;与田光宏 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02B26/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法，所述波长可变滤波器具备：具有光透过性并且具有可动部(31)和可以位移地支撑可动部的支撑部(32)的第1基板(3)、具有光透过性并且与第1基板(3)相面对的第2基板(2)、设于可动部和第2基板之间的第1间隙(21)及第2间隙(22)、在可动部和第2基板之间夹隔第2间隙产生干涉的干涉部、通过利用第1间隙使可动部相对于第2基板(2)位移来改变第2间隙的间隔的驱动部(1)，其特征是，支撑部的厚度比可动部的厚度薄。利用该波长可变滤波器可以用低电压实现可动部的稳定的驱动，使构造、制造工序简单化，实现小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 可变 滤波器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种波长可变滤波器，具备：具有光透过性并且具有可动部和可以位移地支撑该可动部的支撑部的第1基板、具有光透过性并且与所述第1基板相面对的第2基板、设于所述可动部和所述第2基板之间的第1间隙及第2间隙、在所述可动部和所述第2基板之间夹隔所述第2间隙而产生干涉的干涉部、通过利用所述第1间隙使所述可动部相对于所述第2基板位移来改变所述第2间隙的间隔的驱动部，其特征是，所述支撑部的厚度比所述可动部的厚度薄。
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