[发明专利]基片容纳托盘平板架及基片传送系统有效
| 申请号: | 200410098130.X | 申请日: | 2004-09-27 |
| 公开(公告)号: | CN1607163A | 公开(公告)日: | 2005-04-20 |
| 发明(设计)人: | 吉泽武德;谷口英男;柴田浩人 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社;赛的克株式会社 |
| 主分类号: | B65D19/00 | 分类号: | B65D19/00;B65D85/48 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 李瑞海;王景刚 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 一种基片容纳托盘平板架,以水平状态装基片,并包括用于插入基片取出工具的开口,该基片取出工具用于升高该基片,该基片容纳托盘平板架用于传送可被垂直叠放的基片容纳托盘,其中:该基片容纳托盘能被装到一上表面上;用于插入基片取出工具的开口,其位置与所安装的基片容纳托盘的开口相对。 | ||
| 搜索关键词: | 容纳 托盘 平板 传送 系统 | ||
【主权项】:
1、一种基片容纳托盘平板架,以水平状态装基片,并包括用于插入基片取出工具的开口,该基片取出工具用于升高该基片,该基片容纳托盘平板架用于传送可被垂直叠放的基片容纳托盘,其中:该基片容纳托盘能被装到一上表面上;用于插入所述基片取出工具的开口的位置与所安装的基片容纳托盘的开口相对。
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